Наш ответ:

Здравствуйте, Владислав. Предлагаем Вам библиографический список:

Книги

32.844.1-06я73; Г12 Гаврилов, С. А. Электрохимические процессы в технологии микро- и наноэлектроники : учеб. пособие / С. А. Гаврилов, А. Н. Белов. - М. : Высшее образование, 2009. - 257 с. (1685595 - ХР 1685596 - ЧЗ 1685597 - АБ)

З2.844.1я73; К56 Коваленко, А. А. Основы микроэлектроники : учеб. пособие / А. А. Коваленко, М. Д. Петропавловский. - М. : Академия, 2006. - 238 с. (1645599 - ХР 1645600 - ЧЗ 1649280 - АБ)

32.844.1-02; М74 Моделирование технологических процессов микроэлектроники / Отв. ред. Т.М. Махвиладзе ; Рос. акад. наук, Физико-технол. ин-т. - М.: Наука, 1992. -120 с.- (Труды/ ФТИАН). (1497430 - ХР)

32.844.15-06; П78 Проблемы микроэлектронной технологии / отв. ред. Л. В. Великов. - М.: Наука, 1992. -100 с.: ил.- (Труды ФТИАН/ Рос. АН, Физ.-технол. ин-т ; гл. ред. К. А. Валиев). (1499908 - ХР)

32.844.15-06; П78 Проблемы микроэлектронной технологии / отв. ред. Л. В. Великов. - М.: Наука, 1994. -75 с.: ил.- (Труды ФТИАН/ Рос. АН, Физ.-технол. ин-т ; гл. ред. К. А. Валиев). (1522283 - ХР)

32.844.15-06; П78 Проблемы микроэлектронной технологии / отв. ред. А. А. Орликовский. - М.: Наука, 1994. -126 с: ил.- (Труды ФТИАН/ Рос. АН, Физ.-технол. ин-т ; гл. ред. К. А. Валиев). (1525321 - ХР )

32.844.1; П78 Проблемы субмикронной технологии / Рос. АН, Физ.- технол. ин-т ; отв. ред. А. А. Орликовский. - М.: Наука, 1993. -111 с.: ил.- (Труды/ ФТИАН ; гл. ред. К. А. Валиев). (1516317 - ХР )

32.844.1; С59 Соколов, Д. Ю. Патентование изобретений в области высоких и нанотехнологий / Д. Ю. Соколов. - М. : Техносфера, 2010. - 135 с. (1706167 - ХР)

32.844.1; С89 Субмикронные технологии. - М.: Наука, 1995. -76,[3] с.: ил- (Труды ФТИАН / Рос. АН, Физ.-технол. ин-т; Гл. ред. К.А.Валиев). (1545431 - ХР)

32.844; С 89 Сугано, Т. Введение в микроэлектронику / Т. Сугано. - М. : Мир, 1988. - 320 с. - (1338702-ХР)

Следующие издания Вы можете заказать из других библиотек, обратившись в службу межбиблиотечного абонемента и электронной доставки документов (Зал каталогов, 3-й этаж, тел. для справок: 45-48-35, mba@mgounb.ru):

Научно-технический поиск в микроэлектронике : (учеб. пособие) / [В. Н. Костюк, Ю. Л. Егоров, Ю. Р. Фурманов и др.] ; под ред. В. Н. Костюка. - М. : МИЭТ, 1982. - 108 с.

Толстых Б. Л., Создание систем комплексной автоматизации научно-технических исследований, проектирования и управления технологическими процессами в микроэлектронике. дис. на соиск. учен. степ. д. т. н. в форме науч. докл. – 1984.- 41 с.

С уважением,Данилова М. М., главный библиограф Центральной справочной службы.

Ждем Вас в нашей библиотеке!

Будем благодарны за отзыв и предложения о работе нашей службы, которые Вы можете отправить на адрес vss@mgounb.ru.